第(3/3)页 南山设备要自己生产光刻机？ 要不要那么搞笑？ 最关键的是听曹阳的意思，那是要让魔都微电子设备给南山设备打下手，生产一些南山设备看不上，但是国内已经具备生产实力的设备。 这种事情，让贺光明怎么接受？ 完全不知道怎么往下谈下去了！ “曹总，光刻机是目前为止，人类有能力制造的最精密和复杂的机器，没有之一。” “一台光刻机，有三大关键部分组成。” “第一部分是光源、第二部分是光学系统、第三部分是蚀刻工作台。” “每一部分的技术挑战都堪比登月。” “先说光源，那阿斯麦刚刚生产出来的全球最先进的光刻机euv光刻机来说，这是一种 13.5纳米波长的极深紫外光，要产生这种光，目前的做法是用高功率的激光轰击一个直径只有三千万分之一米的小锡球。” “这个事情，只是简单地一句话是不足以描述它的难度，我需要展开来说。” 贺光明觉得曹阳对光刻机应该是了解的比较很少，要不然不会做出让一直生产机床等设备的南山设备去研究光刻机。 所以他准备好好的给曹阳扫盲一下。 “首先要让一束激光准确击中正在以时速大约 200英里运动的小锡球，等小锡球的温度达到 50万度时，再用一束激光轰击它，这时就能产生波长 13.5纳米的极深紫外光。” “要持续稳定产生这种紫外光，需要以每秒钟大约 5万次的频率轰击小锡球。” “这种激光器全世界只有一家德意志公司能生产，这家叫通快的德意志公司用了十年时间才研发成功，单单是这台激光器就有 45700多个零件。” “但你可能没想到，通快公司的这台激光器又依赖于一家立/陶/宛的公司提供关键设备，没有这家立/陶/宛公司制造的光源设备，通快公司也生产不出来相关的设备。” “而哪怕是你能搞定这一步，那么下一个难关是如何把这种极深紫外光收集起来，形成一束极深紫外光的激光呢？” “这里面就涉及到了光学系统。” 贺光明看到曹阳没有打断自己的话，以为对方是被自己说的难度给震住了。 所以继续很是积极地在那里解释着。 “为 euv研制的这套光学系统全世界也只有一家德意志公司能制造，它就是大名鼎鼎的蔡司公司。” “很多人可能听说过蔡司生产的相机镜头是世界上最好的镜头之一，可是相机镜头与 euv光学系统用的镜头比起来，那就好像是螺旋桨撒农药的飞机和喷气式战斗机的差别了。” “这套光学系统至少涉及以下这些技术挑战：高精度非球面加工，多层膜反射镜，高质量熔炼，离子束抛光技术，极限精度磨制。” “最终的目标是要制作出一片绝对光滑平整的镜片，要光滑到什么程度呢？” “用蔡司自己的宣传比喻，就是把这片镜片放大到整个德意志那么大，起伏也没超过 0.1毫米。” 贺光明还想继续解释，不过曹阳却是不想听他科普了，道：“贺总，德意志通快的激光设备技术确实是很厉害，但是你如果去打听一下的话，就会发现在激光切割和激光焊接领域，南山设备已经把通快给打的在华夏活不下去了。” “就以汽车行业的热冲压成型零件生产线需要使用的激光切割设备为例，全国超过50家热冲压成型生产线里头，八成以上的激光切割设备都是南山设备提供的。” “所以你刚刚说的激光器有多难，那只是相对其他的厂家来说，对于南山设备来说，其实并不是不可克服的。” ‘甚至我可以透露一些消息，南山设备的激光器已经顺利的安装在了自主研发的光刻机上面了。’ “如果今后魔都微电子设备还是准备继续生产光刻机的话，可以考虑从南山设备购买激光器，绝对会给你带来意外的惊喜。” “除此之外，我们对光刻机的光学系统做了一系列的改善，相关的工作已经基本上完成，近期会把这些技术以论文的形式在相关的杂志上进行发表。” “当然了，我也可以简单的先跟贺总你透露一下，我们的这套光学系统虽然也是需要高精度的镜片，但是夸张程度远远没有蔡司给阿斯麦供应的那种程度。” “我承认要制作出一片绝对光滑平整的镜片非常困难，蔡司可以镜片的起伏控制在大约一个原子的误差，接近理论上的物理极限，我们南山设备是还做不到的，在国内也找不到类似水平的厂家。” “但是我们可以把这个光学系统做一个比较笨重的改进，通过加大设备体积的方式，来换一种方法去达到最终的目的。” “虽然这会导致我们的光刻机的体积比阿斯麦的大很多，但是不要说满足65纳米的芯片生产需求，就是满足40纳米，甚至22纳米的芯片生产也是没有问题的。” “最关键的是我们现在没有必要立马就生产euv光刻机，生产duv光刻机已经够用了。” “这么一来，相关的技术难度立马就下降了好几个等级。” 曹阳这么一说，贺光明忍不住张大了嘴巴。 要不是说这话的是曹阳，他是死活都不相信这话有什么可信度的。 南山设备能够生产出跟通快一个水平的激光器？ 如果曹阳刚刚说的那些信息是真的，那么南山设备的激光器水平比较高，倒也是有可能。 但是光学系统呢？ 别以为duv光刻机比euv的简单，就以为那么容易了。 这是放大设备就能简单的完成取代的事情吗？ 简直就是胡扯吧？ 就像是第一台电脑，它是一个庞然大物，用了18000个电子管，占地170平方米，重达30吨，耗电功率约150千瓦，但是每秒钟可进行的计算只有5000次。 现任何一台垃圾笔记本都可以秒杀它。 这是体积大就能解决的问题吗？ 真要是如此简单，就不会连尼康和佳能这种巨头都开始掉队了。 “曹总，您确定这些东西都是真的吗？” 虽然这么问很不礼貌，但是贺光明实在是忍不住了，还是问出来了。 如果消息属实，那么对于华夏的芯片产业来说，就是一个非常巨大的变化。 这也是关系到魔都微电子设备未来发展的大事！ (本章完) dengbi.net dmxsw.com qqxsw.com yifan.net shuyue.net epzw.net qqwxw.com xsguan.com xs007.com zhuike.net readw.com 23zw.cc 第(3/3)页